平面研磨机研磨加工小面积高精度工件时，要使用相对弹性变形小的研具，并且做到始终使用能够保证平面度的研具。深圳大精研磨小编简单分析平面研磨机所应用到的研具如下：
1、磨盘：如遇到较软的工件材料时，比如说研磨光学玻璃这种材质的工件，我们可以采用半软质的磨盘（比如锡盘）或者软质的磨盘（比如沥青盘）等，使用这类研磨盘的缺点是磨盘比较容易保持平面度，所以会对加工工件的平面度产生一定的影响，而优点是研磨出的工件表面变质层较小，且表面粗糙度也小。要想获取较高的研磨表面质量，需选用正确且适合的磨盘。
2、磨粒：它主要是按照硬度分为两类（硬磨粒和软磨粒），选用研磨时用到的磨粒具备功能体现为形状、尺寸均匀一致；能适当的破碎，使切刃锋利；磨粒的熔点要比工件熔点高；磨粒在加工也中易分散等。
3、加工液：研磨抛光加工液通常由基液（水性或油性）、磨粒、添加剂三部分组成，作用是供给磨粒、排屑、冷却和润滑。对加工液的要求如下：
1）能够有效散热，以免研具和工件表面热变形；
2）不可污染工件的；
3）粘性低的，可提高磨粒流动性；
4）化学物理性能稳定的，不会因放置或者温升而分解变质；
5）能够较好地分散磨粒的。
在平面研磨机研磨抛光时，会伴有发热现象，除了工件和研具因温度上升而发生形变难以进行高精度研磨外，在局部的磨粒作用点上也会产生相当高的温度，使加工变质层深度增加。而适当地供给加工液，可以有效保证研具有良好的耐磨性工件的形状精度及较小的加工变质层。添加剂的作用是放置或延缓磨料沉淀，并对工件发挥化学作用以提高研磨抛光加工效率和质量。