近年科技的发展迅速，许多工业制造企业对半导体材料、金属和非金属材料平面精度上有更严格的要求；在平面研磨机进行平面研磨时可以从以下几方面来提高其研磨效率：
1.采用游砂研磨。其原理是：研磨砂粒在工件与研磨盘之间自由滚动，在其过程中工件研磨面被砂粒每个锋利的锐角刃口进行不断的切割。当砂粒锐角刃口钝化后，砂粒又在研磨压力下被碾碎从而形成新的锋利锐角刃口，继而获得良好的研磨性能。游砂研磨是连续添加研磨砂混合液的，当新的研磨砂粒不断补充进来，研磨时产生的金属屑和碾碎的细砂通过不断的排出，如此研磨就能获得高效的研磨效率了。
2.对研磨压力的控制。对厚薄不等和平面度精度要求不同的工件，研削效率与研磨压力在70到350克力的压强范围内是成正比的。一般在选择不同的压力，工件越薄和平面度要求越高时，压力则是要求越低。
3.研磨盘的性能与材质选择。研磨盘的材质在过去的人们习惯地采用比研材料要软的材质，而如今，在选择研磨盘材质时更适合采用铸铁研磨铜质硬材、铝研磨铜材等耐磨性能好的，硬度高的优质合金，它所具备耐磨性能良好，磨损慢，研磨盘平面度保持时间长，被研工件平面度能得到保证，同时修盘时间少而研磨时间长，能提升其研磨工作的效率。钢质研磨盘组织结构紧密，研磨砂粒在其研磨面上能获得自由滚动，研钝后的砂粒容易被坚硬的研磨盘碾碎产和新的锋刃，有助于提高研磨效率。
4.磨削效率与研磨线成正比。研磨线速越高其发热量就越大，随着热量的增大，研磨盘的不平面容易影响工件的平面度，通过为了减少热变形一般都会对钢硬盘盘进行通水循环冷却，研磨盘的研磨线速存在着一定值，如果在这个数值范围内再提高研磨盘的线速度则会降低平面研磨机研磨时的效率。