对于石英晶体精密加工而言，防止划痕、裂纹等表面损伤和提高研磨效率是一对矛盾，平面研磨机的半固结模具新技术是加工效率得到了有效地提升。
    按照传统的平面研磨机游离磨粒加工，由于工件与磨具之间的磨粒粒度实际不均匀，较大尺寸的磨粒或从工件上脱落的尺寸较大的磨削容易进入加工区，使得无论是硬质研磨盘还是软质盘，大颗粒与磨粒的载荷不同，容易导致工件的表面损伤。
    平面研磨机的半固结磨料磨具和普通磨具在结构上比较类似，由磨粒、孔隙、结合剂组成，但组合剂强度不大，当硬质大颗粒进入加工区时，研磨盘上大颗粒周围磨粒可产生位置迁移，形成“陷阱”空间，使大颗粒与磨粒趋于等高。使得载荷变化小，表面损伤也相对较低。
    通过实践表明，半固结磨具的整个加工工艺，加工效率大大优于游离磨粒磨具。
    由于石英晶片的基频与表面质量直接相关，石英晶片超精密平面研磨机半固结磨粒磨具加工技术，使石英晶片表面质量有望得到提高。石英晶片的基频，也因此得到了稳定及提高。