平面抛光机工件的抛光平面一般在抛光之后进行，手工抛光平面时，抛光剂涂在抛光平板上，手持工件作直线往复运动或“8字形运动，抛光一定时间后，将工件调转90°～180°，以防工件倾斜。

　　对于工件上局部待研的小平面、方孔、窄缝等表面，也可手持研具进行抛光，批量较大的简单零件上的平面亦可在平面抛光机上抛光，广泛用于单件小批生产中加工各种高精度型面，并可用于大批大量生产，可对工件进行0.01～0.1μm切削，可获得很高的精度和很低的Ra值，但一般不能提高加工面与其他表面之间的位置精度。

　　使用平面抛光机加工工件的过程中，为什么要用氧化铬作磨料研磨剂涂在研具的表面呢?由于研具和工件软，因此抛光过程中磨料悬浮于工件与研具之间，主要利用平面抛光机与工件表面的化学作用。

　　产生很软的一层氧化膜，凸点处的薄膜很容易被磨料磨去，此种方法能得到极细的表面粗糙度，可加工各种钢、淬硬钢、铸铁、铜铝及其合金、硬质合金、陶瓷、玻璃及某些塑料制品等。

　　平面抛光机的工件与研具随机接触，高点相互修整，误差逐步减小，精度同时得到提高，可检测工件，有针对性变动抛光位置和掌握研磨时间，保证尺寸和形状精度，加工质量可靠。