高速横向减薄机
主要用途:
非常适合于工件硬度比较高,厚度超薄,且加工精度要求高的产品。如:LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、陶瓷片、钨钢片等各种材料的快速减薄。
工作原理:
1.本系列横向研磨机为精密磨削设备,由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。该方法磨削阻力小、工件不会破损,而且磨削均匀生产效率高。
特 点:
1.可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。
2.减薄效率高,LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。硅片每分钟可减薄250um。
3.系列研磨机采用CNC程控系统,触摸屏操作面板。
技术参数:
型 号
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FD-150LX
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FD-180LX
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FD-200LX
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FD-230LX
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金刚石磨轮尺寸
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φ150×H25
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φ180×H25
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φ200×H30
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φ230×H30
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最大工件尺寸
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φ150mm
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φ180mm
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φ200mm
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φ230mm
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磨轮转速(可调)
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0---1000rpm /分钟
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0---1000rpm /分钟
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0---800rpm /分钟
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0---800rpm /分钟
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工件转速(可调)
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0---2000rpm /分钟
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0---2000rpm /分钟
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0---1800rpm /分钟
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0---1800rpm /分钟
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磨轮电机功率
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1.5KW. 380V 3相
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1.5KW. 380V3相
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2.2KW. 380V 3相
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2.2KW. 380V 3相
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真空主轴电机功率
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0.75KW. 380V3相
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0.75KW. 380V3相
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1.1KW. 380V3相
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1.1KW. 380V3相
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控制精度(平行度)
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1um(φ100mm)
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1um(φ100mm)
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1um(φ100mm)
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1um(φ100mm)
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外形尺寸
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1200×550×1550
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1200×550×1550
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1350×600×1600
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1350×600×1600
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重 量:
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850kg
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980kg
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1100kg
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1300kg
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